自控所MEMS陀螺“对德合作”首期项目圆满完成
作者：王猛 王刚 发布时间：2016-12-1 11:08:12
MEMS陀螺是高精度MEMS传感器中技术难度最高的器件之一，也是惯性技术储备和技术发展的重要方向。早在2009年，自控所就与德国弗朗霍夫研究院电子纳米系统研究所（Fraunhofer ENAS）在MEMS陀螺领域开展了全方位的技术合作。多年来解决了多项技术瓶颈，在引进前瞻技术和国家战略需求的关键技术方面也取得了重大进展。2016年11月2日至3日，ENAS来自控所进行了为期两天的访问，MEMS陀螺交付样机也通过最终交付验收，这标志着自控所MEMS对德合作首期项目圆满完成。
通过几年的合作，自控所研发MEMS陀螺仪的专业技术能力不断提升，MEMS陀螺仪专业技术能力已经处于国内领先水平。
通过对德合作，自控所不仅收获了产品，同时还吸收技术并形成MEMS通用平台化能力。MEMS工艺技术与集成电路ASIC技术是MEMS陀螺合作项目中的两大核心技术。目前，自控所已经形成完整的湿法与干法两条标准MEMS工艺线，支撑了MEMS陀螺仪、MEMS加速度计和其他新型传感器的研发。同时，集成电路ASIC设计技术也在消化吸收德方技术的基础上逐步扩展应用，形成通用技术平台，为MEMS陀螺仪、MEMS加速度计等MEMS传感器完成功能、提升性能、扩展应用提供了强有力的支撑保障。
在对德合作过程中，自控所MEMS技术平台还逐渐建立起一直接近30人的研发队伍，涉及MEMS传感器设计技术、MEMS工艺技术、集成电路ASIC设计技术等多个MEMS领域核心专业，为自控所在MEMS领域的后续发展培养了宝贵的人才。自控所MEMS技术平台不仅学习了对方先进的设计方法、设计流程，也学习了德方工作人员的创新思维方式，对今后的工作也提出了更高标准的要求。
他山之石，可以攻玉，自控所与德国Fraunhofer ENAS已有十年以上的合作关系，合作的每一个项目都取得了成功。双方良好的合作关系也得到了上级部门的认可，在中航工业集团公司的支持下，中德联合实验室也已于2012年建立。现在“对德合作”首期项目已经圆满完成，放眼未来，新的合作项目已开始协商，也期待着我们能获得更大的收获，迈上更高的台阶！